ITO真空导电镀膜加热器 |
真空加热器主要应用于真空光学玻璃镀膜、真空ITO导电镀膜、真空金属镀膜、和真空获得设备扩散泵。系列铠装真空设备用真空加热器;是结合真空镀膜设备的自身特点和用户对加热器使用工艺要求而生产的,该系列加热器最大的特点:电加热器在高温高真空状态下可长期工作而不污染真空室,同时较密的排布使真空状态下的玻璃或金属基片受热均匀,提高膜层的质量。
二、主要技术参数
◎ 工作电压:55V、110V、220V、380V ◎ 工作温度:不大于800℃ ◎ 发热管材:不锈钢304
◎ 冷态绝缘电阻:大于50MΩ ◎功率: 0.5KW—10KW 每单支 ◎外径:Φ2..0MM—Φ8.0MM (按功率配比合理计算)
三、产品特点:
1:烘烤均匀:因加热器柔性好,因此可以均匀的密布于真空室内,可以任意几何状态环绕,避免了加热烘烤死角,保证了温度均匀性 2:干净:真空加热器外表为不锈钢全密封保护,在长期高温状态下无任何污染。 3:无打火:真空加热器在工作状态下表面无电流通过,整体没有电接头,且相邻间不锈钢表体起到了屏避的作用,在镀膜过程中不存在 引弧放电污染基片的现象。 4:寿命长:真空加热器采用了特殊材料和工艺,加上控制系统可以达到三年以上。 注:其加热器的外形尺寸可根据用户不同的要求制作。 |
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